РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА

 

Предназначен для управления потоком технологических газов в процессах магнетронного и электро-дугового нанесения пленок металлов их нитридов,оксидов и карбидов. Для поддержания давления в вакуумной камере может использоваться обратная связь от датчиков давления. Прибор формирует как ШИМ сигнал для управления вибронатекателями, так и аналоговый сигнал для управления расходомерами.


Технические характерисики:
Количество выходных каналов - 5
Амплитуда управляющего ШИМ сигнала - 24В
Частота управляющего ШИМ сигнала - 10Гц
Управляющий аналоговый сигнал - 0-10В
Количество входных каналов обратной связи - 2
Напряжение сигнала обратной связи - 0-10В
Напряжение питания прибора - 110-220В, 50/60Гц
Потребляемая мощность не более - 35Вт
Габаритные размеры ШхВхГ - 144х72х180мм

Joomla templates by a4joomla