ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT-700-REZ .

Вакуумная установка VTT-700-REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т.д.) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1* и 60х48х0,5* мм с последующим отжигом.

 

 Технические характеристики.

 1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .

 2. предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.

 3. Мощность потребляемая установкой :

 -в режиме откачки-до 12 кВт;

 -в режиме напыления –до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)

 Состав установки 

№ п/п

Наименование

Кол-во.

1.

Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах, А

4 шт

440х80x8 мм

 

10

2.

Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

450

0.7

3000

3.

Технологическая оснастка  2 комплекта

-50 шт размер 60х48х0,5 или60х48х1 мм

2 компл.

4.

Форвакуумный агрегат  WU232

1

5.

Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД-400

1

6.

Затвор высоковакуумный Ду 400

1

7.

Нагреватели внутрикамерные с возможностью  управления температурой подложки до 400 ˚ С .

4

8.

Вакуумные датчики:

-         PFEIFFER  IKR 251

-         PFEIFFER  PKR 251

-         PFEIFFER  TPR 280

 

1

1

2

9.

Система пневматическая на базе элементов SMC

1

10.

Система гидравлическая на базе элементов SMC

1

11.

Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами

1

12.

Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

 

 

 

Joomla templates by a4joomla