ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА V-700 "О" ELI. ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ.

   Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий методом электронно-лучевого, магнетронного и резистивного испарения различных материалов с предварительной ионной очисткой на базе криогенной откачки.

 

   В частности в настоящее время установка используется для нанесения слоев АuGe-Аu и
Ni-Аl на подложке из GaAs. Высоковакуумная откачная система на базе криогенного насоса.
Управление откачной системой, системой пневматической, системой гидравлической-на базе промышленного логического контроллера немецкого производства,
обеспечивающего высокую надежность, гибкое изменение алгоритмов управления и замену средств управления. Рабочее место оператора, установки параметров и
режимов технологических устройств, управление блоками питания испарителей, напуска газов, системой кварцевого контроля - на базе персонального
компьютера под Windows 2000/XP. Программное обеспечение SCADA - системы в среде Visual С++ .

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
Высота камеры                                       600мм;
Диаметр камеры                                     640мм;
Частота вращения технологической оснастки                         0...20 об/мин
Загрузка технологической оснастки (для пластин 50 GaAs)   48 шт;
Максимальная температура нагрева подложек                       350С;
Мощность, потребляемая установкой, не более                      25 кВт.
Предельный остаточный вакуум                                               5*10-4 Па.

 

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п.

Наименование

Количество

1

Высоковакуумный откачной модуль на базе
криогенного насоса НВК-3,2-А-Р

1

2.

Форвакуумный агрегат НВР 25Д/НД 200
(возможна установка насосов немецкой
фирмы PFEIFFER)

1

3.

Высоковакуумный затвор Ду 250

1

4.

Камера вакуумная с дверью

1

5.

Нагреватели внутрикамерные

2

6.

Технологическая оснастка со сменным
куполом

1

7.

Электронно-лучевой испаритель

1

8.

Резистивный испаритель

1(2)

9.

Ионный источник травления

1

10.

Магнетронный испаритель

4

11.

Система гидравлическая (SMC)

1

12.

Система пневматическая (SМС)

1

13.

Система кварцевого контроля толщины
покрытий с тремя датчиками

1

14.

Стойка управления

1

15.

Стойка питания УЭЛИ

1

16.

Стойка питания магнетронов, источника
ионной очистки, резистивного испарителя

1

Установка по согласованию заказчика может комплектоваться технологической
оснасткой под изделия, системой фотометрического контроля покрытий
(спектровизор), системой управления с полной автоматизацией процессов
нанесения покрытий.

Joomla templates by a4joomla