ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT УВПМ.

Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий из различных материалов на порошковый материал, в частности графит, с предварительным нагревом и ионной очисткой.

 

Технические характеристики.

1. Габариты камеры: 2200х3500х1800 мм.

2. Предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:- 25 кВт

- в режиме откачки - 10 кВт;

Состав установки

 

№ п/п

Наименование

Кол-во.

1.

Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах, А

1 шт

Ø143х8 мм

 

10

2.

Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

Ø56

0.7
3000

3.

Технологическая оснастка

 

1 компл.

 

4.

Форвакуумный агрегат  WU232

1

5.

Высоковакуумный откачной модуль на базе криогенного насоса Ду 250

1

6.

Затвор вакуумный VAТ DN 250

1

7.

Нагреватели внутрикамерные с возможностью  управления температурой подложки до 200 ˚ С .

1

8.

Вакуумные датчики:

-         PFEIFFER  IKR 251

-         PFEIFFER  PKR 251

-         PFEIFFER  TPR 280

 

1

1

2

9.

Система пневматическая на базе элементов SMC

1

10.

Система гидравлическая на базе элементов SMC

1

11.

Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 3 газами

1

12.

Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

 

 

 

Joomla templates by a4joomla