ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT 900 DUO

Вакуумная установка VTT 900 DUO предназначена для нанесения упрочняющих, защитно-декоративных покрытий методом магнетронного и электро-дугового распыления из электропроводных тугоплавких материалов (Ti, Mo, Zr и др.).

 Отличительная особенность данной вакуумной установки:

- наличие двух дверей, что позволяет существенно ускорить и облегчить загрузку напыляемых изделий;

- откачной патрубок выполнен по всей высоте камеры;

- возможность установки технологических источников в разных положениях.

Технические характеристики.

1.       Внутренний диаметр камеры D=850 мм.

2.       Высота камеры Н=1300 мм.

3.       Предельный остаточный вакуум 2х10-3 Па.

4.       Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки  11 кВт;

-в режиме нанесения покрытий от 40 до 65 кВт (в зависимости от применяемых источников)

Состав установки.

№п/п

Наименование

Кол-во

1

Магнетронный испаритель с рабочей зоной до 1100 мм с источниками питания

4

2

Возможна установка дуговых планарных испарителей с циркуляцией дуги с рабочей зоной до 1200 мм

4

3

Ионный источник очистки и ассистирования

1

4

Блок питания опорного/высокого

1

5

Технологическая оснастка (возможна технологическая оснастка по согласованию с заказчиком)

1

6

Нагреватели внутрикамерные с возможностью  управления температурой подложки до 600 ˚ С

4

7

Форвакуумный агрегат 2 АВЗ 20/ НД 500 (возможна комплектация насосами немецкой фирмы PFEIFFER)

1

8

Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного  насоса НД 400

1

9

Затвор высоковакуумный с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки

1

10

Система пневматическая на базе элементов SMC.

1

11

Система гидравлическая на базе элементов SMC.

1

12

Система управления на базе промышленного  контроллера Siemens

1

 

 

Joomla templates by a4joomla