ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT PLASMA М3 IS1

Вакуумная установка VTT PLASMA M3 IS1 для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий  Al на подложки из Si магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником.

 

Установка  обеспечивает  равномерное нанесение покрытий   на одну боковую поверхность пластины, размером 125мм на 125 мм, толщина пластины 220±20µm, при одновременной загрузке 300 изделий.

Вакуумная установка должна эксплуатироваться на производственных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 25ºС, относительной влажности воздуха от 40 до 75%  и атмосферном давлении 84,0*10³ - 106,0*10³Па.

Возможно использование установки для нанесения декоративных покрытий на изделия из различных материалов.

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

1. Внутренний  размер камеры: D=1060 мм, H=2370.

2. Предельный остаточный вакуум 9х10-4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки - 12 кВт;

- в режиме очистки  и нанесения покрытия -до 60 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)

 

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

 

№ п/п

Наименование

Кол-во.

1.

Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах ,А

3 шт.

2230*100*10.

3шт.

40

2.

Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

2100*70

 

0.7
3000

3.

Технологическая оснастка барабанного типа.

Количество одновременно загружаемых изделий размером 125*125 мм (возможен вариант технологической оснастки непосредственно под изделия заказчика)

2 компл.

300 шт.

4.

Форвакуумный агрегат  Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER)

1

5.

Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400

1

6.

Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки

1

7.

Нагреватели внутрикамерные с возможностью  управления температурой подложки до 400 ˚ С .

4

8.

Вакуумные датчики:

-         PFEIFFER  IKR 251

-         PFEIFFER  PKR 251

-         PFEIFFER  TPR 280

 

1

1

2

8.

Контроль толщины покрытий:

-         Кварцевый контроллер толщины.

-         Контроль сопротивления на образце.

 

1

1

8

Система пневматическая на базе элементов SMC

1

9

Система гидравлическая на базе элементов SMC

1

10

Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-8 газами

1

11

Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

 

 

 

 

 

 

Joomla templates by a4joomla