ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT PLASMA CROM.

Вакуумная линия  VTT PLASMA CROM  предназначена  для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий  Cr на подложки   из стекла магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником и нагревом.

 

Установка  обеспечивает равномерное нанесение покрытий толщиной не менее 0.1 µm  на одну боковую поверхность условной пластины, размером 127 мм на 127 мм  в количестве не менее 400 шт за одну загрузку.

Максимальный размер напыляемого изделия- 3650*400 мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

1. Внутренний размер камеры: Н=460 мм, В=160мм, L= 8200 мм

2. Предельный остаточный вакуум 8х10-4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки - 12 кВт;

- в режиме очистки и нанесения покрытия -до 40 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п

Наименование

Кол-во.

1.

Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах ,А

2 шт.

570*80*10.

2шт.

25

2.

Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

500*70

0.7
3000

3.

Технологическая оснастка протяженного типа.

Количество одновременно загружаемых изделий размером 400*400 – 400 шт.

1 компл.

400 шт.

4.

Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER)

1

5.

Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400

1

6.

Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки

1

7.

Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С .

Две зоны по 8 кВт

8.

Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280

 

1

1

2

8

Система пневматическая на базе элементов SMC

1

9

Система гидравлическая на базе элементов SMC

1

10

Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-мя газами

1

11

Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

1

 

 

 

Joomla templates by a4joomla