Технологические источники

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ.

Специалистами ООО «ВТТ» создана гамма технологических источников и систем питания и управления к ним:

-магнетронные напылительные системы планарного типа с размером мишени от 100 до 2500 мм;

- магнетронные напылительные системы...

ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОННОГО ИСПАРИТЕЛЯ.

1.Основные технические данные

 

1.1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%;  50(60) Гц.

1.2. Напряжение холостого хода не менее …………………………………………… 1250 В.

1.3. Диапазон регулирования выходного тока …………………………… 0-10,0-20,0-30...

МАГНЕТРОННЫЙ ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ.

Длина мишени L от 50 до 3000 мм;

Максимальный ток разряда до 120 А.

ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ ИОННОГО ИСТОЧНИКА.

Основные технические данные инверторного блока питания  ионного источника

 

1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%;  50(60) Гц.

2. Диапазон регулирования выходного напряжения ……………………… 1000-2500 В.

3. Значение максимального...

ИОННЫЙ ИСТОЧНИК ОЧИСТКИ И АССИСТИРОВАНИЯ.

Размер рабочей зоны от 50 до 3000 мм;

Рабочее напряжение до 7 кВ;

Плотность ионного тока 10...30 мА/см длины

ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА СМЕЩЕНИЯ.

Основные технические данные инверторного блока питания источника смещения

1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%;  50(60) Гц.

2. Диапазон регулировки опорного напряжения, (В)…………………………… 30-500 В.

3. Диапазон регулировки...

РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА

 

Предназначен для управления потоком технологических газов в процессах магнетронного и электро-дугового нанесения пленок металлов их нитридов,оксидов и карбидов. Для поддержания давления в вакуумной камере может использоваться обратная связь от датчиков давления. Прибор формирует как ШИМ сигнал для управления вибронатекателями, так и аналоговый сигнал для управления расходомерами.


Технические характерисики:
Количество выходных каналов - 5
Амплитуда управляющего ШИМ сигнала - 24В
Частота управляющего ШИМ сигнала - 10Гц
Управляющий аналоговый сигнал - 0-10В
Количество входных каналов обратной связи - 2
Напряжение сигнала обратной связи - 0-10В
Напряжение питания прибора - 110-220В, 50/60Гц
Потребляемая мощность не более - 35Вт
Габаритные размеры ШхВхГ - 144х72х180мм

ДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С КРУГЛЫМ КАТОДОМ.

Диаметр катода от 25 до 160 мм;

Максимальный ток разряда до 200 А.

Joomla templates by a4joomla