Технологические источники
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ.
- Подробности
- Просмотров: 3485
Специалистами ООО «ВТТ» создана гамма технологических источников и систем питания и управления к ним:
-магнетронные напылительные системы планарного типа с размером мишени от 100 до 2500 мм;
- магнетронные напылительные системы...
ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОННОГО ИСПАРИТЕЛЯ.
- Подробности
- Просмотров: 4094
1.Основные технические данные
1.1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
1.2. Напряжение холостого хода не менее …………………………………………… 1250 В.
1.3. Диапазон регулирования выходного тока …………………………… 0-10,0-20,0-30...
МАГНЕТРОННЫЙ ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ.
- Подробности
- Просмотров: 3723
Длина мишени L от 50 до 3000 мм;
Максимальный ток разряда до 120 А.
ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ ИОННОГО ИСТОЧНИКА.
- Подробности
- Просмотров: 8104
Основные технические данные инверторного блока питания ионного источника
1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
2. Диапазон регулирования выходного напряжения ……………………… 1000-2500 В.
3. Значение максимального...
ИОННЫЙ ИСТОЧНИК ОЧИСТКИ И АССИСТИРОВАНИЯ.
- Подробности
- Просмотров: 2960
Размер рабочей зоны от 50 до 3000 мм;
Рабочее напряжение до 7 кВ;
Плотность ионного тока 10...30 мА/см длины
ИНВЕРТОРНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА СМЕЩЕНИЯ.
- Подробности
- Просмотров: 8237
Основные технические данные инверторного блока питания источника смещения
1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
2. Диапазон регулировки опорного напряжения, (В)…………………………… 30-500 В.
3. Диапазон регулировки...
РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА
- Подробности
- Просмотров: 2835
Предназначен для управления потоком технологических газов в процессах магнетронного и электро-дугового нанесения пленок металлов их нитридов,оксидов и карбидов. Для поддержания давления в вакуумной камере может использоваться обратная связь от датчиков давления. Прибор формирует как ШИМ сигнал для управления вибронатекателями, так и аналоговый сигнал для управления расходомерами.
Технические характерисики:
Количество выходных каналов - 5
Амплитуда управляющего ШИМ сигнала - 24В
Частота управляющего ШИМ сигнала - 10Гц
Управляющий аналоговый сигнал - 0-10В
Количество входных каналов обратной связи - 2
Напряжение сигнала обратной связи - 0-10В
Напряжение питания прибора - 110-220В, 50/60Гц
Потребляемая мощность не более - 35Вт
Габаритные размеры ШхВхГ - 144х72х180мм
ДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С КРУГЛЫМ КАТОДОМ.
- Подробности
- Просмотров: 3685
Диаметр катода от 25 до 160 мм;
Максимальный ток разряда до 200 А.