Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT-700-REZ .
- Подробности
- Просмотров: 3644
Вакуумная установка VTT-700-REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т.д.) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1* и 60х48х0,5* мм с последующим отжигом.
Технические характеристики.
1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .
2. предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.
3. Мощность потребляемая установкой :
-в режиме откачки-до 12 кВт;
-в режиме напыления –до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)
Состав установки
|
№ п/п |
Наименование |
Кол-во. |
|
1. |
Магнетронный источник с блоком питания. Размер мишени, мм Блок питания -ток разряда, мах, А |
4 шт 440х80x8 мм
10 |
|
2. |
Ионный источник - рабочая зона, мм - ток разряда, А - рабочее напряжение, В |
1 450 0.7 3000 |
|
3. |
Технологическая оснастка 2 комплекта -50 шт размер 60х48х0,5 или60х48х1 мм |
2 компл. |
|
4. |
Форвакуумный агрегат WU232 |
1 |
|
5. |
Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД-400 |
1 |
|
6. |
Затвор высоковакуумный Ду 400 |
1 |
|
7. |
Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . |
4 |
|
8. |
Вакуумные датчики: - PFEIFFER IKR 251 - PFEIFFER PKR 251 - PFEIFFER TPR 280 |
1 1 2 |
|
9. |
Система пневматическая на базе элементов SMC |
1 |
|
10. |
Система гидравлическая на базе элементов SMC |
1 |
|
11. |
Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами |
1 |
|
12. |
Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH. Сенсорная панель управления (Touch screen interface) Управление ручное и автоматическое. Удаленный доступ Полная автоматизация процесса нанесения покрытий. |
