Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT – PLASMA ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ УПРОЧНЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ.
- Подробности
- Просмотров: 4012
Вакуумная установка для нанесения упрочняющих и защитно-декоративных покрытий тугоплавкими электропроводимыми материалами: титан, хром, цирконий, молибден, титан, алюминий, а также их соединениями с газами (TiN, TiC, ZrN, AlN-TiN-AlN и т.д.) вакуумно-плазменным способом на подложки из металла керамики, стекла, пластмассы, и т.д.
На установке реализуются следующие технологические процессы:
-предварительный нагрев и обезгаживание поверхности изделия нагревателями и электронным нагревом;
-ионная очистка, травление поверхности изделий;
-глубокая плазмохимическая обработка поверхности изделий;
-нанесение электродуговым методом однослойных и многослойных покрытий на основе чистых металлов или их соединений: нитридов, карбидов, карбонитридов.
Технические характеристики.
Высота камеры 600мм.
Рабочий диаметр технологической оснастки 500мм.
Предельное остаточное давление в камере 8х10-4 Па.
Состав установки.
|
Наименование |
Количество |
|
Высоковакуумная откачная система на базе диффузионного насоса НВДМ-400/7000 |
1 |
|
Низковакуумная откачная система на базе форвакуумного агрегата АВЗ 20/НД 200 |
1 |
|
Дуговые испарители с катодом Ø 63 мм |
2 |
|
Ионный источник очистки с рабочей до 400 мм |
1 |
|
Нагреватели внутрикамерные |
1 |
|
Привод вращения технологической оснастки |
1 |
|
Технологическая оснастка (изготавливается под напыляемые изделия по согласованию с заказчиком) |
1 |
|
Высоковольтный блок смещения на технологическую оснастку |
1 |
|
ИК Пирометр для контроля температуры изделия |
1 |
|
Система газонапуска с автоматическим поддержанием давления, количество каналов не менее 3 |
1 |
Управление установкой возможно в двух вариантах:
-полуавтоматическое (автоматическая откачка камеры);
-автоматическое.