Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT УВПМ.
- Подробности
- Просмотров: 4498
Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий из различных материалов на порошковый материал, в частности графит, с предварительным нагревом и ионной очисткой.
Технические характеристики.
1. Габариты камеры: 2200х3500х1800 мм.
2. Предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.
3. Мощность, потребляемая установкой:- 25 кВт
- в режиме откачки - 10 кВт;
Состав установки
№ п/п |
Наименование |
Кол-во. |
1. |
Магнетронный источник с блоком питания. Размер мишени, мм Блок питания -ток разряда, мах, А |
1 шт Ø143х8 мм
10 |
2. |
Ионный источник - рабочая зона, мм - ток разряда, А - рабочее напряжение, В |
1 Ø56 0.7 |
3. |
Технологическая оснастка
|
1 компл.
|
4. |
Форвакуумный агрегат WU232 |
1 |
5. |
Высоковакуумный откачной модуль на базе криогенного насоса Ду 250 |
1 |
6. |
Затвор вакуумный VAТ DN 250 |
1 |
7. |
Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 200 ˚ С . |
1 |
8. |
Вакуумные датчики: - PFEIFFER IKR 251 - PFEIFFER PKR 251 - PFEIFFER TPR 280 |
1 1 2 |
9. |
Система пневматическая на базе элементов SMC |
1 |
10. |
Система гидравлическая на базе элементов SMC |
1 |
11. |
Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 3 газами |
1 |
12. |
Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH. Сенсорная панель управления (Touch screen interface) Управление ручное и автоматическое. Удаленный доступ Полная автоматизация процесса нанесения покрытий. |