Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT PLASMA М3 IS1
- Подробности
- Просмотров: 2201
Вакуумная установка VTT PLASMA M3 IS1 для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником.
Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий на одну боковую поверхность пластины, размером 125мм на 125 мм, толщина пластины 220±20µm, при одновременной загрузке 300 изделий.
Вакуумная установка должна эксплуатироваться на производственных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 25ºС, относительной влажности воздуха от 40 до 75% и атмосферном давлении 84,0*10³ - 106,0*10³Па.
Возможно использование установки для нанесения декоративных покрытий на изделия из различных материалов.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
1. Внутренний размер камеры: D=1060 мм, H=2370.
2. Предельный остаточный вакуум 9х10-4 Па в камере.
3. Мощность, потребляемая установкой:
- в режиме откачки - 12 кВт;
- в режиме очистки и нанесения покрытия -до 60 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)
СОСТАВ УСТАНОВКИ.
|
№ п/п |
Наименование |
Кол-во. |
|
1. |
Магнетронный источник с блоком питания. Размер мишени, мм Блок питания -ток разряда, мах ,А |
3 шт. 2230*100*10. 3шт. 40 |
|
2. |
Ионный источник - рабочая зона, мм - ток разряда, А - рабочее напряжение, В |
1 2100*70
0.7 |
|
3. |
Технологическая оснастка барабанного типа. Количество одновременно загружаемых изделий размером 125*125 мм (возможен вариант технологической оснастки непосредственно под изделия заказчика) |
2 компл. 300 шт. |
|
4. |
Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) |
1 |
|
5. |
Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400 |
1 |
|
6. |
Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки |
1 |
|
7. |
Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . |
4 |
|
8. |
Вакуумные датчики: - PFEIFFER IKR 251 - PFEIFFER PKR 251 - PFEIFFER TPR 280 |
1 1 2 |
|
8. |
Контроль толщины покрытий: - Кварцевый контроллер толщины. - Контроль сопротивления на образце. |
1 1 |
|
8 |
Система пневматическая на базе элементов SMC |
1 |
|
9 |
Система гидравлическая на базе элементов SMC |
1 |
|
10 |
Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-8 газами |
1 |
|
11 |
Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH. Сенсорная панель управления (Touch screen interface) Управление ручное и автоматическое. Удаленный доступ Полная автоматизация процесса нанесения покрытий. |
|
