Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT PLASMA CROM.
- Подробности
- Просмотров: 2519
Вакуумная линия VTT PLASMA CROM предназначена для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Cr на подложки из стекла магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником и нагревом.
Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий толщиной не менее 0.1 µm на одну боковую поверхность условной пластины, размером 127 мм на 127 мм в количестве не менее 400 шт за одну загрузку.
Максимальный размер напыляемого изделия- 3650*400 мм.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
1. Внутренний размер камеры: Н=460 мм, В=160мм, L= 8200 мм
2. Предельный остаточный вакуум 8х10-4 Па в камере.
3. Мощность, потребляемая установкой:
- в режиме откачки - 12 кВт;
- в режиме очистки и нанесения покрытия -до 40 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)
СОСТАВ УСТАНОВКИ.
|
№ п/п |
Наименование |
Кол-во. |
|
1. |
Магнетронный источник с блоком питания. Размер мишени, мм Блок питания -ток разряда, мах ,А |
2 шт. 570*80*10. 2шт. 25 |
|
2. |
Ионный источник - рабочая зона, мм - ток разряда, А - рабочее напряжение, В |
1 500*70 0.7 |
|
3. |
Технологическая оснастка протяженного типа. Количество одновременно загружаемых изделий размером 400*400 – 400 шт. |
1 компл. 400 шт. |
|
4. |
Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) |
1 |
|
5. |
Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400 |
1 |
|
6. |
Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки |
1 |
|
7. |
Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . |
Две зоны по 8 кВт |
|
8. |
Вакуумные датчики: - PFEIFFER IKR 251 - PFEIFFER PKR 251 - PFEIFFER TPR 280 |
1 1 2 |
|
8 |
Система пневматическая на базе элементов SMC |
1 |
|
9 |
Система гидравлическая на базе элементов SMC |
1 |
|
10 |
Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-мя газами |
1 |
|
11 |
Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH. Сенсорная панель управления (Touch screen interface) Управление ручное и автоматическое. Удаленный доступ Полная автоматизация процесса нанесения покрытий. |
1 |
