Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT 700 ОПТИК
- Подробности
- Просмотров: 2977
Вакуумная установка нового поколения VTT 700 Оптик предназначена для нанесения в вакууме оптических многослойных тонкопленочных покрытий электронно-лучевым и резистивным способом с предварительной очисткой поверхности подложек ионным пучком, и нагревом подложек.
Технические характеристики.
1. Внутренний размер камеры: Н=700 мм, D=1200 мм.
2. Предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.
3. Мощность, потребляемая установкой:
- в режиме откачки - 7 кВт;
- в режиме очистки и нанесения покрытия - до 12 кВт
