Специалистами ООО «ВТТ» создана гамма технологических источников и систем питания и управления к ним:
-магнетронные напылительные системы планарного типа с размером мишени от 100 до 2500 мм;
- магнетронные напылительные системы...
1.Основные технические данные
1.1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
1.2. Напряжение холостого хода не менее …………………………………………… 1250 В.
1.3. Диапазон регулирования выходного тока …………………………… 0-10,0-20,0-30...
Диаметр катода от 25 до 160 мм;
Максимальный ток разряда до 200 А.
Основные технические данные инверторного блока питания ионного источника
1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
2. Диапазон регулирования выходного напряжения ……………………… 1000-2500 В.
3. Значение максимального...
Длина мишени L от 50 до 3000 мм;
Максимальный ток разряда до 120 А.
Основные технические данные инверторного блока питания источника смещения
1. Питание…..….......…..….....…..….....…..….....…..….....….. ~3´380B +/-10%; 50(60) Гц.
2. Диапазон регулировки опорного напряжения, (В)…………………………… 30-500 В.
3. Диапазон регулировки...
