Выпускаемое оборудование
VTT 1100 D6IM2
предназначена для нанесения упрочняющих покрытий тугоплавкими электро-проводимыми материалами: титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, а также их соединениями с газами (TiN, TiC, ZrN, AlN-TiN-AlN и т.д.) вакуумно-плазменным способом на подложки из металла, керамики, стекла.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø1100х1300 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 560 м3/ч. Насос пластинчато-роторный скорость откачки 300 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 630Э |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| Привод вращения | Верхний |
| Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 100х1100 х10 |
| Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х1080х25 |
| Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 1025 |
