БПМ
Инверторный блок питания магнетрона (БПМ)
Блок питания серии БПМ — это высокопроизводительный инвертор, разработанный специально для систем магнетронного распыления. Он обеспечивает стабильное зажигание разряда и точное поддержание параметров при нанесении тонкопленочных покрытий.
Почему это важно для производства?
• Легкий старт: Встроенная система «вольтодобавки» поднимает напряжение до 1200–1300 В в режиме холостого хода. Это гарантирует быстрое и уверенное зажигание плазмы даже в сложных газовых смесях.
• Идеальная стабилизация: Микропроцессорное управление мгновенно корректирует ток катода, опираясь на данные с датчиков в реальном времени. Ваше покрытие будет однородным по всей площади.
• Бережная работа: Функция плавного заряда емкостей предотвращает резкие скачки тока при включении, что продлевает жизнь блоку,.
• Защита от помех: Двойная система фильтрации (сетевой и выходной фильтры) защищает управляющую электронику от высокочастотных наводок.
Управление и интерфейс
Блок БПМ спроектирован по принципу «включил и работай»:
• Гибридное управление: Вы можете настраивать ток вручную ручкой на передней панели или полностью доверить управление компьютеру (через ПО «ConVac»).
• Интуитивная индикация: Световая панель сразу сообщает статус системы: от подачи питания до готовности вакуумных блокировок и наличия напряжения на выходе.
• Безопасность: Блок оснащен системой внешних блокировок — он не включится, если в камере недостаточно вакуума либо отсутствует охлаждение технологического источника.
Краткие характеристики
• Конструкция: Компактный модуль для стандартной 19-дюймовой стойки.
• Питание: Промышленная сеть 380 В (3 фазы).
• Диапазон: Точная регулировка тока для работы с магнетронами различных типов и мощностей.