БПМ

Инверторный блок питания магнетрона (БПМ)

Блок питания серии БПМ — это высокопроизводительный инвертор, разработанный специально для систем магнетронного распыления. Он обеспечивает стабильное зажигание разряда и точное поддержание параметров при нанесении тонкопленочных покрытий.

Почему это важно для производства?

• Легкий старт: Встроенная система «вольтодобавки» поднимает напряжение до 1200–1300 В в режиме холостого хода. Это гарантирует быстрое и уверенное зажигание плазмы даже в сложных газовых смесях.

• Идеальная стабилизация: Микропроцессорное управление мгновенно корректирует ток катода, опираясь на данные с датчиков в реальном времени. Ваше покрытие будет однородным по всей площади.

• Бережная работа: Функция плавного заряда емкостей предотвращает резкие скачки тока при включении, что продлевает жизнь блоку,.

• Защита от помех: Двойная система фильтрации (сетевой и выходной фильтры) защищает управляющую электронику от высокочастотных наводок.

Управление и интерфейс

Блок БПМ спроектирован по принципу «включил и работай»:

• Гибридное управление: Вы можете настраивать ток вручную ручкой на передней панели или полностью доверить управление компьютеру (через ПО «ConVac»).

• Интуитивная индикация: Световая панель сразу сообщает статус системы: от подачи питания до готовности вакуумных блокировок и наличия напряжения на выходе.

• Безопасность: Блок оснащен системой внешних блокировок — он не включится, если в камере недостаточно вакуума либо отсутствует охлаждение технологического источника.

Краткие характеристики

• Конструкция: Компактный модуль для стандартной 19-дюймовой стойки.

• Питание: Промышленная сеть 380 В (3 фазы).

• Диапазон: Точная регулировка тока для работы с магнетронами различных типов и мощностей.