Система газонапуска

Система газонапуска отвечает за создание и поддержание точного газового состава внутри вакуумной камеры. Это «интеллектуальный центр» установки, который гарантирует, что технологический процесс пройдет именно так, как было задумано, с максимальной чистотой и стабильностью.

Почему это важно для вашего производства:

• Безупречная точность: Современные регуляторы позволяют подавать газ микроскопическими порциями без погрешностей. Это обеспечивает равномерность наносимых слоев и высокое качество конечного продукта.

• Полная автоматизация: Система работает в связке с системой общего управления установкой. Вам достаточно выбрать нужный рецепт в программе — автоматика сама подберет пропорции газов и подаст их на нужные узлы.

• Мгновенная реакция: Быстродействующие клапаны позволяют оперативно менять состав газовой смеси прямо в процессе цикла, что сокращает время обработки и расширяет возможности ваших технологий.

• Надежность и долговечность: Использование химически стойких материалов (фторопласт, спецсплавы) гарантирует долгий срок службы системы даже при работе с агрессивными газами.