VTT 1060 M3IS1
Вакуумная установка VTT1060 M3IS1
Модель предназначена для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий из алюминия на подложки из кремния магнетронным способом. Напыление производится с предварительным нагревом и очисткой изделий ионным пучком.
Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий на одну боковую поверхность пластины солнечного элемента, размером 125 мм на 125 мм. Один цикл напыления предполагает загрузку камеры до 300 изделий.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø1060х2370 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 560 м3/ч Насос пластинчато-роторный скорость откачки300 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400Р | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 100х2230х10 |
| 07 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм\ | 2066 |