VTT 700 E2IR
Вакуумная установка VTT 700 E2IR
Установка предназначена для напыления высококачественных многослойных оптических покрытий для видимого, инфракрасного и ультрафиолетового диапазонов.Вакуумная установка данной модели может напылять фильтры, просветляющие покрытия, зеркальные, покрытия повышающие коэффициент отражения.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø700х770 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки280 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 100 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400 Р | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Электронно-лучевые испарители | ЭЛИ VTT-6, ЭЛИ VTT-8 |
| 07 | Ионный источник очистки и ассистирования | НCS 3000 | 08 | Система кварцевого контроля | Контроллер управления на базе SQC 310 c кварцевыми датчиками производства INFICON |
| 09 | Система фотометрического контроля | Оптическая система для контроля пропускания и отражения, спектральный диапазон 380 -1700 нм 8 позиций свидетелей |