VTT 700 IM3
Вакуумная установка VTT700 IM3
Данная модель предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом керамических подложек размером 60х48х1 мм и 60х48х0,5 мм. Основная задача оборудования нанесение металлических адгезионных слоев (хрома, ванадия) и резистивных слоев (РС3710, РС5406) с последующим отжигом при температуре до 400 градусов С.
Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.
Работа ионного источника
Ионный источник УАС очистка
Ионный источник УАС напыление
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø650х560 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 63 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 3000 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400Р | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 80х400х10 |
| 07 | Источник ионной очистки (ионизатор), мишень, мм | 60х300х10 |