Выпускаемое оборудование
VTT 700 D5IM2
предназначена для нанесения упрочняющих покрытий дуговым и магнетронным способом из электропроводных материалов: медь, титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, вольфрам а также их соединениями с газами. Установка способна производить напыления на изделия из металла, керамики, стекла, пластмассы в ручном и автоматическом режиме.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø800х800 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 540 м3/ч. Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Нижний |
| Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80х604х10 |
| Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78х46 |
| Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х592х25 |
| Источник ионной очистки, раскрытия ионного пучка, мм | 465 |
