Выпускаемое оборудование
VTT 1100 D2IM3
предназначена для нанесения электропроводящих покрытий (медь, серебро, хром, алюминий) на керамические стержни вакуумно-плазменным способом.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø1100х600 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 500 м3/ч. Насос пластинчато-роторный скорость откачки 250 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Нижний |
| Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 100х400х10 |
| Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80x1100x25 |
| Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78х35 |
