Выпускаемое оборудование
VTT 1900 E2I2R6
предназначена для напыления высококачественных многослойных оптических покрытий для видимого диапазона. Данная вакуумная установка спроектирована для напыления крупногабаритной асферической оптики. Приоритетной задачей данного оборудования является напыление зеркальных покрытий с повышенным коэффициентом отражения в видимой области спектра.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø1900x2100 |
| Форвакуумный агрегат | Пластинчато-роторный насос, скорость откачки 630 м3/ч. Насос Рутса скорость откачки 1180 м3/час. |
| Высоковакуумный насос | Криогенный насос DZB500 (2шт) |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Верхний |
| Механизм загрузки | Электрический |
| Электронно-лучевые испарители | ЭЛИ VTT-10 (2шт) |
| Резистивный испаритель | 6 резистивных испарителя |
| Ионный источник очистки и ассистирования | HCS-3000 |
| Система кварцевого контроля | Контроллер управления INFICON SQC 310 c двумя кварцевыми датчиками |
| Система фотометрического контроля | Оптическая система для контроля пропускания и отражения спектральный диапазон 380 -1100 нм, 8 позиций свидетелей |
