Выпускаемое оборудование
VTT 1200 E2IR2
предназначена для нанесения оптических многослойных тонкопленочных покрытий электронно-лучевым и резистивным способом испарения. Установка оснащена ионным источником очистки напыляемых изделий и ассистирования формируемых пленок.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø1200x1200 |
| Форвакуумный агрегат | Пластинчато-роторный насос скорость откачки 300 м3/ч. Насос Рутса скорость откачки 290 м3/час. |
| Высоковакуумный насос | Диффузионный насос НД630 |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Верхний привод вращения с возможностью установки купола или планетарной оснасткой |
| Электронно-лучевые испарители | ЭЛИ VTT-8 (2шт) |
| Ионный источник очистки и ассистирования | HCS-3000 |
| Система кварцевого контроля | Контроллер управления INFICON, SQC 310 c датчиком, совмещенным в общей головке с системой оптического контроля |
| Система фотометрического контроля | Оптическая система для контроля пропускания и отражения, спектральный диапазон 380 -1100 нм, 8 позиций свидетелей |
