Выпускаемое оборудование
VTT 1100 E2IR
предназначена для напыления высококачественных многослойных оптических покрытий для видимого, инфракрасного и ультрафиолетового диапазонов. Вакуумная установка данной модели может напылять фильтры, просветляющие покрытия, зеркальные, покрытия повышающие коэффициент отражения.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø1100x1200 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 500 м3/ч. Насос пластинчато-роторный скорость откачки 250 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Криогенный насос DZB500 |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Верхний |
| Электронно-лучевые испарители | ЭЛИ VTT-8 (2шт) |
| Ионный источник очистки и ассистирования | HCS-3000 |
| Система кварцевого контроля | Контроллер управления на безе SQC 310 c кварцевыми датчиками производства INFICON |
| Система фотометрического контроля | Оптическая система для контроля пропускания и отражения, спектральный диапазон 380 -1700 нм, 8 позиций свидетелей |
