Выпускаемое оборудование
VTT 700 D7IM2
предназначена для нанесения упрочняющих покрытий тугоплавкими электро-проводимыми материалами: титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, а также их соединениями с газами (TiN, TiC, ZrN, AlN-TiN-AlN и т.д.) вакуумно-плазменным способом на подложки из металла, керамики, стекла, пластмассы, и т.д.
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø700x760 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 540 м3/ч.Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Верхний |
| Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80x604x10 |
| Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78x35 |
| Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80x592x25 |
| Источник ионной очистки, раскрытия ионного пучка, мм | 465 |
