БПДИ
Инверторные системы управления дуговым испарением (БПДИ)
Блоки питания серии БПДИ — это интеллектуальное решение для реализации метода электродугового испарения (Arc-PVD). Они не просто подают ток на испаритель, а полностью контролируют поведение дугового разряда, обеспечивая стабильность процесса и исключительную адгезию наносимых покрытий.
Интеллектуальное управление дуговым разрядом
Главная сложность дугового испарения — нестабильность разряда и риск его «затухания». Системы БПДИ оснащены встроенными алгоритмами, которые делают процесс автономным:
• Автоматический «умный» поджиг: Блок непрерывно отслеживает напряжение на катоде. Если дуга гаснет, система моментально реагирует, подавая серию высоковольтных импульсов (400 В) до тех пор, пока разряд не восстановится. Это происходит в доли секунды, не нарушая техпроцесс.
• Циклическое перемещение дуги: Для предотвращения локального перегрева и глубоких «кратеров» на мишени, БПДИ использует систему магнитной коммутации. Опираясь на данные датчиков положения, блок заставляет дугу равномерно перемещаться по всей поверхности катода. Это гарантирует симметричный износ материала мишени и стабильную плотность потока пара.
• Контроль фокусировки: Встроенные каналы управления соленоидами позволяют тонко настраивать конфигурацию магнитного поля, фокусируя или отклоняя плазменный поток в зависимости от геометрии изделий.
Модельный ряд: Точечные и Протяженные системы
Мы разработали две модификации блоков управления, которые позволяют превратить мишень из обычного расходного материала в высокоэффективный ресурс.
• БПДИ Точечный Идеален для локальных источников испарения. Блок оснащен раздельными регуляторами управления соленоидами. Это позволяет не только фокусировать плазменный поток на деталях, но и добиваться максимально равномерного износа мишени.
• БПДИ Протяженный Спроектирован для работы с длинными мишенями в крупногабаритных установках. Система обеспечивает сбалансированное распределение мощности по всей поверхности испарителя. Это критически важно для однородного износа материала по всей длине: блок нивелирует краевые эффекты и гарантирует, что толщина покрытия будет идеально одинаковой как в центре, так и по краям протяженного изделия.
Технологические преимущества
• Интеграция в цифровую среду: Блоки полностью совместимы с программным комплексом ConVac. Это позволяет создавать сложные рецепты напыления, где параметры тока меняются автоматически по заданному алгоритму.
• Безопасность и самодиагностика: Многоуровневая система блокировок (вакуумная готовность, проток охлаждающей воды, тепловая защита) исключает запуск испарителя в нештатных ситуациях.
• Высокий КПД инвертора: Использование современных IGBT-модулей минимизирует тепловые потери самого блока и обеспечивает мгновенную реакцию на изменение давления в камере.
• Информативный интерфейс: Оператор всегда видит реальную картину процесса благодаря цифровой индикации токов и световой панели статусов («Работа», «Блокировка», «Сеть»).
Краткая спецификация
• Диапазон рабочих токов: 80 – 250 А (оптимально для большинства металлов).
• Частота импульсов поджига: 2 – 5 Гц.
• Конструктив: Прочный металлический корпус для установки в стандартную 19-дюймовую приборную стойку.