Ионный источник
Ионный источник предназначен для обработки и активации поверхности деталей пучком ионов рабочего газа. Предварительная обработка ионным источником позволяет добиться высоких адгезионных свойств поверхности деталей. Рабочий газ – Ar (агон). Ионы рабочего газа образуются в скрещенных электрических и магнитных полях, а их ускорение определяет разность потенциалов в промежутке анод-катод.
Работа ионного источника
Ионный источник УАС очистка
Ионный источник УАС напыление