ВТТ-ЭЛИ

Прецизионные решения для высокочистого вакуумного напыления

Многопозиционные электронно-лучевые испарители моделей ВТТ-ЭЛИ-6 и ВТТ-ЭЛИ-8 — это высокотехнологичное оборудование, предназначенное для тонкопленочного нанесения материалов в условиях глубокого вакуума. Благодаря сочетанию мощности электронного луча и системы прямого охлаждения, испарители обеспечивают безупречную чистоту и адгезию покрытий.

Ключевые преимущества серии ВТТ-ЭЛИ:

• Высокая производительность и универсальность: Многопозиционная конструкция тигля позволяет работать с несколькими материалами за один цикл, что идеально подходит как для сложных производственных процессов, так и для многопрофильных научных исследований.

• Интенсивное прямое охлаждение: Использование тиглей с прямым водяным охлаждением предотвращает перегрев корпуса и минимизирует риск загрязнения испаряемого материала. Это гарантирует стабильно высокие показатели качества наносимых слоев.

• Безупречная точность позиционирования: Испарители оснащены интеллектуальной магнитной фокусирующей системой, прямым приводом от мотор-редуктора. Это исключает люфты и гарантирует точное наведение луча на активную зону, повышая повторяемость результатов.

• Простота интеграции: Стандарт посадочного отверстия (32 мм) позволяет легко встраивать испарители в большинство существующих вакуумных установок без дорогостоящей модернизации камеры.

• Технические особенности конструкции:

Конструкция ВТТ-ЭЛИ продумана для работы в режиме 24/7. Магнитная система управления лучом (катушки X и Y) обеспечивает полный контроль над пятном нагрева, позволяя равномерно испарять даже тугоплавкие материалы.

• Надежность в деталях: Каждый узел — от катодного блока до системы электромагнитного отклонения — выполнен из материалов, устойчивых к длительным термическим нагрузкам, что увеличивает межсервисный интервал оборудования.