Магнетронный испаритель

Характерной особенностью магнетронных испарителей является использование специальной магнитной системы, которая над распыляемой мишенью создает замкнутое по контуру туннелеобразное магнитное поле. Благодаря ему создаются условия получения локализованной плазмы высокой плотности.

Основными элементами устройства является катод-мишень, анод и магнитная система. Силовые линии магнитного поля замыкаются между полюсами магнитов, образовывая магнитную систему. Поверхность мишени, расположенная между местами входа и выхода силовых линий магнитного поля, интенсивно распыляется и имеет вид замкнутой дорожки, геометрия которой определяется формой полюсов магнитной системы