Мишени
Технологические мишени и катоды
Мишень (или катод) — это базовый элемент вакуумного процесса, служащий непосредственным источником материала для формирования тонкопленочного покрытия. Именно из неё под воздействием ионной бомбардировки или дугового разряда выбиваются атомы, которые, переносясь в вакууме, конденсируются на поверхности ваших изделий.
Качество материала — залог идеального слоя
Поставляя мишени, мы гарантируем:
• Высокую чистоту (от 99,9% до 99,999%): Отсутствие посторонних примесей исключает дефекты в структуре пленки.
• Равномерную мелкозернистую структуру: Обеспечивает стабильную скорость испарения и предотвращает «микровыплески» материала.
• Высокую плотность: Отсутствие внутренних пор и газовых включений позволяет достигать предельного вакуума без лишнего газовыделения.
Широкий спектр материалов
В зависимости от требуемых свойств покрытия (износостойкость, электропроводность, цвет или коррозийная стойкость), мы предлагаем мишени из различных металлов и сплавов:
• Титан (Ti) и Цирконий (Zr): Базовые материалы для создания сверхтвердых нитридных покрытий (TiN, ZrN) золотистого и серебристого цветов.
• Хром (Cr): Идеален для зеркальных, декоративных и антикоррозийных слоев.
• Алюминий (Al) и Медь (Cu): Применяются для создания токопроводящих слоев и зеркальных отражателей.
• Сплавы (TiAl, CrNi и др.): Позволяют создавать градиентные и многослойные покрытия с уникальными физико-механическими свойствами.
Конструктивные исполнения
Мы производим и поставляем расходные материалы для всех типов наших испарителей:
1. Прямоугольные мишени: Для стандартных магнетронных распылителей.
2. Точечные катоды: Для дуговых испарителей точечного типа.
3. Протяженные (прямоугольные) мишени: Для систем большой площади и непрерывного цикла.
Эффективность использования
Благодаря синергии наших блоков питания (серии БПМ и БПДИ) и прецизионных мишеней, достигается коэффициент использования материала до 30-40% выше, чем в стандартных системах, за счет равномерного эрозионного износа всей поверхности мишени.