VTT 700Х800 DIM2
Проходная вакуумная установка VTT 700х800 DIM2
Данная модель предназначена для нанесения высококачественных покрытий на изделия из металла, стекла, керамики и пластмасс магнетронным и дуговым распылением. Установка позволяет наносить покрытия в автоматическом режиме по заданной программе.
Проходная шлюзовая вакуумная установка позволяет получать покрытия на крупногабаритных плоских изделиях разной конфигурации не используя специальных технологических оснасток.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | 700х800х150 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 290 м3/ч<br>Насос пластинчато-роторный скорость откачки 100 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400 | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 80х840х10 |
| 07 | Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х830х25 | 08 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 715 |