Резиновые уплотнители
Резиновые уплотнители из фторкаучука (FKM/Viton)
В высоковакуумных системах «мелочей» не бывает. Качество предельного остаточного давления напрямую зависит от диффузионной стойкости и газовыделения эластомеров. Именно поэтому в наших установках мы применяем уплотнители на основе фторкаучука (FKM) — материала, который по праву считается «золотым стандартом» в вакуумной технике.
Почему это важно для вашей установки?
Обычная резина (NBR) при достижении высокого вакуума начинает «газить» — выделять молекулы пластификаторов, которые не позволяют опустить давление до нужных значений и загрязняют напыляемые слои. Фторкаучуковые соединения лишены этого недостатка.
Ключевые преимущества:
• Низкий коэффициент десорбции: Фторкаучук обладает минимальным газовыделением в условиях глубокого вакуума. Это позволяет быстрее выходить на рабочий режим и поддерживать идеальную чистоту технологической среды.
• Экстремальная химическая инертность: Уплотнения устойчивы к агрессивным средам, плазме и воздействию рабочих газов. Они не деградируют и не «дубеют» при контакте с парами масел или активными химическими агентами.
• Термическая стабильность: Материал сохраняет свои эластичные свойства в широком диапазоне температур (до +200°C и выше). Это критически важно для узлов, находящихся вблизи источников нагрева — магнетронов или электронно-лучевых испарителей.
• Минимальная остаточная деформация: Уплотнения из FKM «памятью формы» значительно превосходят аналоги. Даже после длительного сжатия в соединениях они восстанавливают структуру, обеспечивая герметичность системы на протяжении многих циклов напуска и откачки.
Технологическая чистота
Использование фторкаучуковых уплотнений исключает риск попадания углеводородов в зону напыления. Это гарантирует высокую адгезию пленок и стабильность оптических или электрофизических характеристик ваших покрытий.