Системы ЭЛИ

Системы серии ЭЛИ — это высокотехнологичное решение для прецизионного испарения материалов в вакууме. С их помощью можно распылять металлы, полупроводники и их тугоплавкие окислы, нитриды карбиды и другие связи. ЭЛИ уверено работает с материалами, которые тяжело поддаются к испарению другими методами.

Как это работает?

В основе установки лежит электронная пушка. Мощный поток электронов фокусируется в узкий пучок и направляется точно в тигель с материалом. Кинетическая энергия пучка мгновенно превращается в тепло, разогревая материал до температуры испарения.

Ключевые преимущества

• Работа с любыми материалами: Система легко справляется с тугоплавкими соединениями.

• Чистота процесса: Благодаря системе поворота луча на 270°, источник электронов защищен от попадания паров испаряемого материала. Это продлевает срок службы катода и обеспечивает стерильность напыления.

• Точное управление: Электромагнитная система позволяет оперативно отклонять и перемещать луч по осям X и Y, обеспечивая равномерный прогрев материала.

• Эффективное охлаждение: Продуманная система охлаждения эффективно снижает тепловые нагрузки на тигель и медные основания, предотвращая перегрев узлов даже при интенсивной работе.

Техническая гибкость

Мы предлагаем две базовые модификации, которые подбираются под ваши производственные задачи:

Особенности

ВТТ-ЭЛИ-6 Компактное решение для стандартных циклов напыления.

ВТТ-ЭЛИ-8 Увеличенный размер тигля для работы с большими объемами материалов.

Конфигурация тиглей: По желанию заказчика обе модели могут быть укомплектованы как однопозиционными, так и многопозиционными тиглями для последовательного напыления разных материалов за один цикл.