VTT 1100 D2IM3
Вакуумная установка VTT 1100 D2IM3
Данная модель предназначена для нанесения электропроводящих покрытий (медь, серебро, хром, алюминий) на керамические стержни вакуумно-плазменным способом.
VTT 1100D2IM3 работает в автоматическом режиме.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø1100х600 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 500 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 250 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Нижний | 06 | Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 100х400х10 |
| 07 | Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78х35 |