VTT 1100 D6IM2
Вакуумная установка VTT 1100 D6IM2
Модель предназначена для нанесения упрочняющих покрытий тугоплавкими электро-проводимыми материалами: титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, а также их соединениями с газами (TiN, TiC, ZrN, AlN-TiN-AlN и т.д.) вакуумно-плазменным способом на подложки из металла, керамики, стекла.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø1100х1300 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 560 м3/ч<br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 300 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 630Э | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 100х1100х10 |
| 07 | Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х1080х25 | 08 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 1025 |