VTT 1200 E2IR2
Вакуумная установка VTT 1200 Е2IR2
Вакуумная установка предназначена для нанесения оптических многослойных тонкопленочных покрытий электронно-лучевым и резистивным способом испарения. VTT 1200 E2IR2 оснащена ионным источником очистки напыляемых изделий и ассистирования формируемых пленок.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø1200х 1200 | 02 | Форвакуумный агрегат | Пластинчато-роторный насос скорость откачки 300 м3/ч<br>Насос Рутса скорость откачки<br>290 м3/час |
| 03 | Высоковакуумный насос | Диффузионный насос НД630 | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний привод вращения с возможностью установки купола или планетарной оснасткой | 06 | Электронно-лучевые испарители | ЭЛИ VTT-8 (2шт) |
| 07 | Ионный источник очистки и ассистирования | НCS-3000 | 08 | Система кварцевого контроля | Контроллер управления INFICONSQC 310 c датчиком, совмещенным в общей головке с системой оптического контроля |
| 09 | Система фотометрического контроля | Оптическая система для контроля пропускания и отражения, спектральный диапазон 380 -1100 нм 8 позиций свидетелей |