VTT 700 D5IM2
Вакуумная установка VTT 700 D5IM2
Данная модель предназначена для нанесения упрочняющих покрытий дуговым и магнетронным способом из электропроводных материалов:медь, титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, вольфрам а также их соединениями с газами.
Установка способна производить напыления на изделия из металла, керамики, стекла, пластмассы в ручном и автоматическом режиме.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø800х800 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 540 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Нижний | 06 | Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80х604х10 |
| 07 | Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78х46 | 08 | Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х592х25 |
| 09 | Источник ионной очистки, раскрытия ионного пучка, мм | 465 |