VTT 700 D7IM2
Вакуумная установка VTT 700 D7IM2
Вакуумная установка предназначена для нанесения упрочняющих покрытий тугоплавкими электро-проводимыми материалами: титан, хром, цирконий, молибден, алюминий, а также их соединениями с газами (TiN, TiC, ZrN, AlN-TiN-AlN и т.д.) вакуумно-плазменным способом на подложки из металла, керамики, стекла, пластмассы, и т.д.
Вакуумная установка работает в автоматическом режиме.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø 700х760 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 540 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 500 | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80х604х10 |
| 07 | Точечный источник дугового испарения, катод, мм | Ø78х35 | 08 | Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х592х25 |
| 09 | Источник ионной очистки, раскрытия ионного пучка, мм | 465 |