VTT 700 I2M8
Вакуумная установка VTT 700 I2M8
Данная модель предназначена для нанесения металлических токопроводящих и адгезионных слоев (Cr, Ta, Cu) на керамические подложек размером 60х48х1 мм и 60х48х0,5 мм.Способ нанесения покрытия магнетронный с одновременным покрытием двух сторон.
Полная автоматизация процесса нанесения покрытий с помощью кварцевых датчиков измерения толщины покрытия.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø650х720 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 63 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 3000 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400Р | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 80х500х10 |
| 07 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 453 |