VTT 700 IM2
Вакуумная установка VTT 700 IM2
Данная модель вертикального линейного типа предназначена для нанесения покрытий из хрома и его соединений с газами на крупногабаритные и мелкоразмерные оптические линейки из стекла.
Напыление производится магнетронным способом с предварительным нагревом и очисткой изделий ионным пучком.
Максимальный размер напыляемого изделия: 3650*400 мм.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | 240х720х700 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 500м3/ч Насос пластинчато-роторный скорость откачки 648 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400Р | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 80х570х10 |
| 07 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 448 |