VTT 900 DIM4
Вакуумная установка VTT 900 DIM4
Данная вакуумная установка предназначена для нанесения упрочняющих покрытий на лопатки газовых турбин методом магнетронного и электродугового распыления из электропроводных тугоплавких материалов (Ti, Mo, Zr и др.).
Отличительная особенность модели VTT 900 DIM4:
— наличие двух дверей, что позволяет существенно ускорить загрузку напыляемых изделий и облегчить процесс очистки камеры и обслуживания технологических источников;
— возможность установки девяти технологических источников и их перемещения по камере.
Технические характеристики.
| 01 | Размер камеры,мм | Ø900х1400 | 02 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 550 м3/ч <br> Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч |
| 03 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 630Э | 04 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON |
| 05 | Привод вращения | Верхний | 06 | Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80х1100 х10 |
| 07 | Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80х1100х25 | 08 | Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 1000 |