VTT 600 M2I
Вакуумная установка VTT-600 M2I предназначена для нанесения качественных функциональных и защитных покрытий на изделия из керамики и ферритов. Комплекс объединяет в себе передовые технологии магнетронного испарения, ионной очистки и термического нагрева подложек. Благодаря продуманной модульной архитектуре и защитным экранам из нержавеющей стали, установка обеспечивает максимальную чистоту технологического процесса, высокую адгезию слоев и безупречную повторяемость результатов от партии к партии.
Система автоматизации выводит управление производством на новый уровень. Комплекс оснащен интеллектуальной системой управления на базе промышленного компьютера со специализированным ПО собственной разработки (программный комплекс ConVac). Она связывает вакуумную откачку, исполнительные механизмы, систему подачи газов и датчики контроля в единую систему. Оборудование поддерживает как гибкий ручной режим для отработки новых технологий, так и полуавтоматический режим для серийного выпуска продукции, минимизируя влияние человеческого фактора.
Обзор VTT 600 M2I
Технические характеристики.
| 01 | Размеры камеры (модуль загрузки), мм | 600х120х570 | 02 | Размеры камеры (модуль напылительный), мм | 600х120х1090 |
| 03 | Форвакуумный агрегат | Насос Рутса, скорость откачки 280 м3/ч. Насос пластинчато-роторный, скорость откачки 90 м3/ч | 04 | Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 400Р |
| 05 | Контроль вакуума | Вакуумные датчики INFICON | 06 | Транспортная система | Приводной конвейер (ролики с вакуумными вводами, асинхронный двигатель с частотным приводом) для перемещения тележек между камерами по оптическим датчикам. |
| 07 | Система нагрева | Верхний нагреватель для нагрева изделий до 200°C с термопарным контролем через вакуумный ввод и автоматическим управлением по контуру обратной связи. | 08 | Источник магнетронного распыления, мишень, мм | 80х592х10 |
| 09 | Источник ионной очистки, габарит, мм | 110х598х54 |