Выпускаемое оборудование
VTT 900 DIM4
предназначена для нанесения упрочняющих покрытий на лопатки газовых турбин методом магнетронного и электродугового распыления из электропроводных тугоплавких материалов (Ti, Mo, Zr и др.).
Технологические характеристики
| Размер камеры,мм | Ø900x1400 |
| Форвакуумный агрегат | Насос Рутса скорость откачки 550 м3/ч. Насос пластинчато-роторный скорость откачки 90 м3/ч. |
| Высоковакуумный насос | Насос диффузионный НД 630Э |
| Контроль вакуума | Вакуумные датчики фирмы INFICON |
| Привод вращения | Верхний |
| Источник магнетронного распыления , мишень, мм | 80x1100x10 |
| Протяженный источник дугового испарения, катод, мм | 80x1100x25 |
| Источник ионной очистки, раскрытие ионного пучка, мм | 1000 |
